Elaboration et caractérisations en couche mince d’oxyde de zinc pour l’application de capteur de gaz
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Date
2019
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Publisher
ECOLE NATIONALE SUPERIEURE DES MINES ET DE LA METALLURGIE-ANNABA
Abstract
L’étude et l’élaboration des couches minces sensibles de ZnO pour les Capteurs à ondes acoustiques SAW et BAW, à base de matériaux Piézoélectriques, pour une application de détection des gaz domestiques par l’effet gravimétrique. Les couches élaborées par la méthode chimique micropipetage, subissent des caractérisations morphologiques en utilisant Microscope optique et à force atomique qui nous a confirmé que les couches résultantes sont des couches homogènes et uniformes de ZnO à la fin du travail nous avons effectué une mesure fréquentielle pour voir la possibilité des couche de détecter la vapeur d’acétone